Jak životně důležitémolybdenové tyče pro polovodičový průmyslrozměrová stabilita?
V růstových dílnách monokrystalického křemíku nebo safíru proces tažení krystalu často trvá desítky nebo dokonce stovky hodin a teplotní pole musí být přesně řízeno nad 1400 stupňů. Jakmile má složka tepelného pole deformaci dokonce 0,5 mm, průměr krystalu může kolísat, hustota dislokací se může zvýšit a výtěžnost se přímo sníží. Největší bolestí hlavy pro mnoho inženýrů není náhlé prasknutí, ale „neviditelné“ tečení a akumulace tepla.
Mezi nimi se molybdenové tyče používají jako základní konstrukční materiály tyčí pro podporu tepelného pole, svorek zárodečných krystalů nebo topných komponentů a jejich rozměrová stálost při nízkých{0}}teplotách a vysokých{1}}teplotách se stala rozhodujícím faktorem. Tepelný koeficient samotného molybdenu je velmi nízký, ale výkon molybdenových tyčí s různou čistotou a technologií zpracování se při dlouhodobě-vysoké teplotě a vakuu značně liší. Běžné slinuté molybdenové tyče jsou náchylné k mikro-prodlužování způsobenému růstem zrn po opakovaných tepelných cyklech, zatímco-molybdenové tyče o vysoké čistotě, které prošly vícesměrným kováním a vysokoteplotním{8}}žíháním, mají rovnoměrnější orientaci zrna a výrazně zlepšenou odolnost proti tečení. Kumulativní deformace je řízena ve velmi malém rozsahu.
Použili jsme továrnu, která vyráběla 6-palcové tyčinky ze safírového krystalu. V prvních dnech se používaly konvenční molybdenové nosné tyče. Tepelné pole muselo být kalibrováno každých několik vytažených krystalů a výtěžnost se pohybovala kolem 65 %. Později, po nahrazení molybdenové tyče polovodičové kvality naší optimalizovanou strukturou zrna, se prodloužila doba kontinuálního tažení v jedné peci, výrazně se snížilo kolísání tepelného pole, zlepšila se konzistence průměru hotového krystalu a celkový výtěžek se zvýšil téměř o 15 procentních bodů. Méně výměn komponentů a menší nastavování parametrů přináší nejen snížení nákladů, ale také stabilitu výrobního rytmu.
Proč je tento bod tak kritický? Protože růst polovodičových krystalů je typickým procesem „pomalé práce a jemné práce“, jakýkoli malý posun velikosti bude zesílen teplotním gradientem a nakonec se projeví v defektech krystalů. Vysoce-kvalitní molybdenové tyče minimalizují riziko tohoto úletu a umožňují procesním inženýrům soustředit se s větší jistotou na rychlost odlévání a kontrolu, než se starat o strukturální deformace.
V současné rychlé fázi velkých{0}}krystalů a polovodičových materiálů třetí{1}}generace budou požadavky na stabilitu zařízení stále vyšší a vyšší. Molybdenová tyč bez rozdílu na povrchu může ve skutečnosti určit, kolik kvalifikovaných oplatek se každý měsíc vyrobí.
Pokud provádíte údržbu zařízení pro růst jednotlivých krystalů, upgrade tepelného pole nebo vybíráte nový projekt, řekněte mi prosím o stabilitě tepelného pole nebo problémech s krystaly, se kterými se aktuálně potýkáte. Můžeme zkombinovat specifickou teplotní křivku a strukturu zařízení, abychom poskytli cílenější materiál molybdenové tyče a návrhy zpracování, které pomohou zcela kontrolovat „neviditelná“ skrytá nebezpečí deformace.
Stabilizujte tepelné pole a krystal bude přirozeně dobře růst-na to se zaměřuje naše investice do polovodičových molybdenových tyčí.
Ava
